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  • 日本三豐三坐標測量?jì)x

    精測儀器20年一站式測量?jì)x器供應商 因為專(zhuān)注 所以專(zhuān)業(yè)

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    產(chǎn)品中心 應用案例 精測儀器

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    產(chǎn)品中心

    全國服務(wù)熱線(xiàn)

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    激光干涉儀SJ6000

    激光干涉儀SJ6000可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量......

    品牌:中圖

    價(jià)格:根據配置詳細報價(jià)

    全國熱線(xiàn)

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
    product presentation
    精測儀器
     
    商品名稱(chēng) 激光干涉儀
    型號 SJ6000
    穩頻方式 雙頻激光熱穩頻
    穩頻精度 0.05ppm
    供 應 商 佛山市精測計量?jì)x器設備有限公司

    產(chǎn)品概述
    product presentation
    精測儀器

          激光干涉儀以光波為載體,其光波波長(cháng)可以直接對米進(jìn)行定義,且可以溯源至國家標準,是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量?jì)x器,在高端制造領(lǐng)域應用廣泛。
     

      SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù),可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術(shù),可實(shí)現最高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償;采用高性能計算機控制系統及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡(jiǎn)潔化的記錄管理。

    激光干涉儀

      

    產(chǎn)品配置
    Product configuration
    精測儀器
           SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。

    激光干涉儀
           其中,線(xiàn)性鏡組為標配,由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成??蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。

    工作原理
    working principle
    精測儀器

            激光器發(fā)射單一頻率光束射入線(xiàn)性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì )有一個(gè)探測器監控兩道光束之間的干涉(見(jiàn)圖)。若光程差沒(méi)有變化時(shí),探測器會(huì )在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。
     

      若光程差有變化時(shí),探測器會(huì )在每一次光程變化時(shí),在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會(huì )被計算并用來(lái)測量?jì)蓚€(gè)光程之間的差異變化。

    激光干涉儀
     

    產(chǎn)品優(yōu)勢

    精測儀器
    ◆精度高

      SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù),可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。

     

    ◆功能廣

      ● 可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

      ● 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等;

      ● 可實(shí)現龍門(mén)機床雙軸同步測量;

      ● 可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準;

      ● 可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

      ● 具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等;

      ● 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

    ◆軟件強

      ●  友好的人機界面;

      ●  豐富的應用功能模塊;

      ●  向導式的操作流程;

      ●  簡(jiǎn)潔化的記錄管理;

      ●  支持中文、英文和俄文界面;

      ● 支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

    客戶(hù)實(shí)例
    Client case
    精測儀器

    激光干涉儀

    精測公眾號
    精測公眾號
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